通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无*无*无味气体。采用*能C波段光线*裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。O3*催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有*地杀灭*菌，将物质破坏且改变成为低分子无*物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，强*催化氧化作用。在分解过程中产生高*高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2rarr;O-+O*(活性氧)O+O2rarr;O3(臭氧),臭氧具有*强的氧化作用，对恶臭气体及其它*激性异味有*强的清*效果。O3也为*催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中*菌的分子键，破坏*菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，*底达到脱臭及杀*菌的*的。

对于等离子光氧一体机的应用也比较广泛，主要运用在造纸业、制药行业、橡胶轮胎或者橡胶密封条生产车间、垃圾处理、皮革行业、印刷行业、香料生产业、饲料厂及农药生产厂等多个行业中的污染气体、恶臭和异味的处理，等离子氧一体机对部分行业的净化效率在95%左右，是目前市场上*佳的废气净化设备。